可實(shí)現(xiàn)高溫法與化學(xué)法相結(jié)合的提純工藝；
電阻爐采用頂立科技專屬超高溫、大電流引電技術(shù)，能在2600℃條件下長(zhǎng)時(shí)間穩(wěn)定使用；
電阻爐可采用多溫區(qū)獨(dú)立控溫，溫度均勻性好；
采用特殊的高溫紅外測(cè)量技術(shù)，控溫準(zhǔn)確，誤差?。?/span>
采用感應(yīng)加熱形式，最高溫度可達(dá)3000℃，適用于高溫法提純；
適于工藝氣氛：真空/N2/Ar/CH4/H2/工藝氣氛。
| 臥式真空高溫純化爐 | |||||
| 參數(shù)\型號(hào) | HPF-111115 | HPF-131320 | HPF-161635 | HPF-161670 | HPF-201840 |
| 工作區(qū)尺寸 W×H×L（mm） | 1100×1100×1500 | 1300×1300×2000 | 1600×1600×3500 | 1600×1600×7000 | 2000×1800×4000 |
| 最高溫度（℃） | 2500 | ||||
| 溫度均勻性（℃） | ±5~±20 | ||||
| 極限真空度（Pa） | 1-100 | ||||
| 壓升率（Pa/h） | 0.67 | ||||
| 立式真空高溫純化爐 | |||||||
| 參數(shù)\型號(hào) | VPF-0305 | VPF-0608 | VPF-0812 | VPF-1216 | VPF-1320 | VPF-1520 | VPF-161636 |
| 工作區(qū)尺寸 φ×H（mm） | 300×500 | 600×800 | 800×1200 | 1200×1600 | 1300×2000 | 1500×2000 | 1600×1600×3600 |
| 最高溫度（℃） | 2500-3000 | 2500 | |||||
| 溫度均勻性（℃） | ±5~±20 | ||||||
| 極限真空度（Pa） | 1-100 | ||||||
| 壓升率（Pa/h） | 0.67 | ||||||
以上參數(shù)可根據(jù)工藝要求進(jìn)行調(diào)整，不作為驗(yàn)收依據(jù)，具體以技術(shù)方案和協(xié)議為準(zhǔn)。
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